DHPS系列 直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置型號(hào)【上海雙旭】
上海雙旭DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
產(chǎn)品概述
DHPS系列是由上海雙旭電子有限公司研發(fā)生產(chǎn)的直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置，主要用于材料科學(xué)、薄膜制備、表面改性等領(lǐng)域的教學(xué)與科研實(shí)驗(yàn)。該裝置通過(guò)直流輝光放電產(chǎn)生等離子體，利用濺射原理在基片上沉積薄膜。
產(chǎn)品參數(shù)
- 電源類(lèi)型：直流穩(wěn)壓穩(wěn)流電源
- 輸出電壓范圍：0-1500V（可調(diào)，具體依型號(hào)而定）
- 輸出電流范圍：0-500mA（可調(diào)，具體依型號(hào)而定）
- 真空室極限壓力：≤6.0×10-3 Pa
- 工作壓力范圍：1-10 Pa（典型濺射區(qū)間）
- 靶材尺寸：標(biāo)配直徑Φ50-60mm（可根據(jù)需求定制）
- 基片尺寸：最大支持Φ50mm圓片或相應(yīng)尺寸方片
- 氣體流量控制：質(zhì)量流量計(jì)控制，常用Ar氣，可選配多路
- 真空系統(tǒng)：分子泵機(jī)組（或根據(jù)型號(hào)配旋片泵+分子泵）
- 控制系統(tǒng)：手動(dòng)控制或PLC觸摸屏自動(dòng)控制（依配置而定）
- 主機(jī)尺寸：約800mm（寬）×600mm（深）×1200mm（高）（僅供參考，具體因型號(hào)而異）
使用注意事項(xiàng)
- 安全第一：裝置涉及高電壓、真空及可能使用的惰性氣體。操作前必須接受專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守實(shí)驗(yàn)室安全規(guī)程。
- 真空操作：在開(kāi)啟真空泵前，確保各閥門(mén)處于正確狀態(tài)。破空（向真空室充氣）時(shí)必須緩慢，避免氣流沖擊損壞內(nèi)部構(gòu)件或樣品。
- 電源操作：開(kāi)啟直流高壓電源前，務(wù)必確認(rèn)靶材與基片安裝正確，無(wú)短路風(fēng)險(xiǎn)。電源輸出端嚴(yán)禁觸摸。
- 氣體使用：使用高純度（如99.999%）工作氣體（通常為氬氣）。確保氣路密封良好，實(shí)驗(yàn)環(huán)境通風(fēng)。
- 靶材與清潔：靶材表面應(yīng)保持清潔。定期清潔真空室，防止污染物影響薄膜純度和附著力。
- 維護(hù)保養(yǎng)：定期檢查分子泵、機(jī)械泵油位及狀態(tài)，按說(shuō)明書(shū)要求更換泵油和清洗過(guò)濾器。檢查密封圈老化情況并及時(shí)更換。
- 冷卻系統(tǒng)：若設(shè)備配備水冷，必須保證冷卻水暢通且流量充足，以防止靶材和電源因過(guò)熱損壞。
- 實(shí)驗(yàn)記錄：詳細(xì)記錄每次實(shí)驗(yàn)的參數(shù)（真空度、氣壓、電壓、電流、時(shí)間等），以便結(jié)果復(fù)現(xiàn)與分析。
備注
以上信息為DHPS系列的通用介紹。具體型號(hào)的規(guī)格可能存在差異，請(qǐng)以上海雙旭官方提供的對(duì)應(yīng)型號(hào)技術(shù)手冊(cè)為準(zhǔn)。在進(jìn)行任何操作、維護(hù)或故障排查前，務(wù)必仔細(xì)閱讀隨機(jī)附帶的完整使用說(shuō)明書(shū)。 |
