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上海雙旭ISSP-SHF系列單晶爐

供應商：上海雙旭電子有限公司

產(chǎn)品參數(shù)

• 型號系列：ISSP-SHF
• 爐體結(jié)構(gòu)：通常采用不銹鋼或雙層水冷結(jié)構(gòu)，確保高溫下的穩(wěn)定與安全。
• 最高溫度：可達1700℃以上（具體視配置而定），滿足半導體級單晶生長需求。
• 溫場控制：采用多區(qū)加熱與精密溫控系統(tǒng)，溫場均勻性高。
• 晶體尺寸：支持多種晶體直徑規(guī)格，如2英寸、4英寸、6英寸或定制尺寸。
• 提拉速度：無級可調(diào)，范圍通常為0.1-10 mm/h，精度高。
• 旋轉(zhuǎn)速度：晶體與坩堝轉(zhuǎn)速獨立可調(diào)，以優(yōu)化生長界面。
• 真空系統(tǒng)：極限真空度可達10^-4 Pa量級，并配備高純惰性氣體保護功能。
• 控制系統(tǒng)：基于PLC或工業(yè)計算機，具備自動生長程序、實時監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄功能。
• 安全防護：集成壓力、水溫、漏電、過流等多重保護裝置。

使用注意事項

• 安裝環(huán)境：需放置在穩(wěn)固、無振動、通風良好的專業(yè)實驗室或車間，遠離腐蝕性氣體。
• 電源要求：必須嚴格符合設(shè)備額定電壓與功率要求，建議配備穩(wěn)壓電源及專用接地線。
• 冷卻系統(tǒng)：確保冷卻水水質(zhì)清潔、流量與壓力達標，定期檢查管路防止堵塞或泄漏。
• 真空操作：在抽真空或充氣過程中，遵循操作規(guī)程，避免壓力驟變損壞爐體或觀察窗。
• 高溫運行：爐體高溫時嚴禁觸摸，加熱及冷卻過程應嚴格按照程序執(zhí)行，防止熱沖擊。
• 物料準備：使用的多晶料、摻雜劑、坩堝等必須滿足高純度要求，并徹底清潔干燥。
• 維護保養(yǎng)：定期檢查加熱元件、密封件、傳感器等易損件，及時更換。保持設(shè)備內(nèi)外清潔。
• 操作人員：需經(jīng)專業(yè)培訓，熟悉設(shè)備結(jié)構(gòu)、工藝流程及應急處理措施。
• 安全防護：操作時應佩戴防護眼鏡、手套等勞保用品，爐體附近配備防火設(shè)施。