上海雙旭ZDL-14C 冷陰極高真空電離真空計表（電離規(guī)/冷規(guī)）

上海雙旭ZDL-14C冷陰極高真空電離真空計是專為高真空、超高真空環(huán)境設計的測量儀表，采用冷陰極電離規(guī)技術，無需加熱燈絲，具備抗污染、耐高真空腐蝕等特性，廣泛應用于真空鍍膜、半導體制造、空間模擬、真空冶金等工業(yè)及科研領域。

核心產品參數(shù)

規(guī)管安裝前需檢查真空接口清潔度，避免油污、灰塵進入規(guī)管內部，否則會導致測量精度下降或規(guī)管損壞。

開機前需確保測量系統(tǒng)已達到預真空狀態(tài)（建議≤1Pa），禁止在大氣壓或低真空環(huán)境下啟動規(guī)管高壓，防止規(guī)管內發(fā)生氣體放電損壞部件。

測量過程中若出現(xiàn)數(shù)值跳變、無顯示異常，需先切斷規(guī)管高壓，檢查真空系統(tǒng)密封性，排除漏氣、污染等問題后再重新啟動。

規(guī)管長期暴露在大氣中后，再次使用前需進行烘烤除氣處理（溫度≤150℃，持續(xù)2-4小時），去除規(guī)管內部吸附的水汽和雜質。

主機應安裝在通風、干燥、無強電磁干擾的環(huán)境中，避免與高頻設備、高壓電源近距離放置，防止電磁干擾影響測量穩(wěn)定性。

定期校準：建議每年對儀表進行一次專業(yè)校準，或使用標準真空比對系統(tǒng)進行精度驗證，確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。

維護時需切斷電源，嚴禁帶電拆卸規(guī)管或主機外殼，避免高壓觸電風險；非專業(yè)人員請勿自行拆解內部電路或調整參數(shù)。

若測量環(huán)境存在腐蝕性氣體或大量顆粒污染物，需在規(guī)管前端加裝過濾裝置，延長規(guī)管使用壽命。