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產(chǎn)品概述

上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)）范疇，是一款專門用于高真空、超高真空環(huán)境測量的核心傳感元件。它利用冷陰極放電電離原理，通過檢測真空環(huán)境中氣體電離產(chǎn)生的離子電流來換算真空度，具備無需加熱陰極、抗污染能力強(qiáng)、壽命長等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空冶煉、空間模擬等工業(yè)及科研領(lǐng)域的真空系統(tǒng)監(jiān)測。

核心技術(shù)參數(shù)

使用注意事項(xiàng)

安裝環(huán)節(jié)

• 規(guī)管需垂直安裝，避免因水平放置導(dǎo)致規(guī)管內(nèi)部電極積塵或污染，影響測量精度；
• 安裝前需清潔真空系統(tǒng)及規(guī)管接口，避免灰塵、油污進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部；安裝時(shí)需使用專用密封圈（如氟橡膠圈），并確保接口密封良好，防止漏氣；
• 規(guī)管應(yīng)遠(yuǎn)離真空系統(tǒng)中的放氣源、高溫區(qū)及強(qiáng)磁場干擾源，安裝位置需保證氣體流通順暢，避免測量死角。

操作使用

• 規(guī)管必須搭配上海雙旭配套的ZJ-14C規(guī)管電源使用，嚴(yán)禁私自搭配其他型號(hào)電源，防止因電壓、電流不匹配損壞規(guī)管；
• 啟動(dòng)測量前，需確認(rèn)真空系統(tǒng)已抽到預(yù)真空（建議≤1Pa），再開啟規(guī)管電源，避免規(guī)管在低真空（大氣或粗真空）下長時(shí)間放電，導(dǎo)致電極污染；
• 若真空系統(tǒng)暴露大氣后，需重新抽真空至預(yù)真空狀態(tài)，穩(wěn)定10~15分鐘后再開啟規(guī)管測量，防止大氣中的水汽、灰塵污染規(guī)管內(nèi)部電極；
• 長期停用真空系統(tǒng)時(shí)，需先關(guān)閉規(guī)管電源，再關(guān)閉真空機(jī)組，避免規(guī)管在非真空狀態(tài)下閑置。

維護(hù)與保養(yǎng)

• 定期檢查規(guī)管外觀及接口密封情況，若發(fā)現(xiàn)接口松動(dòng)、密封圈老化需及時(shí)處理；
• 若規(guī)管出現(xiàn)測量值漂移、離子電流異常等情況，可在確保真空系統(tǒng)清潔的前提下，對(duì)規(guī)管進(jìn)行"反電解清潔"（需在專業(yè)人員指導(dǎo)下操作，通過反向電壓清除電極表面輕度污染）；
• 避免規(guī)管受到機(jī)械碰撞、摔落，防止內(nèi)部電極或磁鐵移位，損壞規(guī)管結(jié)構(gòu)；
• 規(guī)管需存放在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免長期暴露在高濕度、高污染環(huán)境下。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 無熱陰極設(shè)計(jì)：無需加熱陰極組件，不會(huì)因陰極氧化、蒸發(fā)導(dǎo)致污染，在高污染真空環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作；
• 抗污染能力強(qiáng)：冷陰極結(jié)構(gòu)對(duì)油蒸汽、粉塵等污染物的耐受性遠(yuǎn)高于熱陰極規(guī)管，適合復(fù)雜工況的真空測量；
• 長壽命特性：避免了熱陰極的損耗問題，正常使用條件下壽命可達(dá)數(shù)萬小時(shí)，降低設(shè)備維護(hù)成本；
• 穩(wěn)定性優(yōu)異：內(nèi)置永久磁鐵提供穩(wěn)定磁場，配合優(yōu)化的電極結(jié)構(gòu)，測量數(shù)據(jù)重復(fù)性好，漂移小。