ZJ-14 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
上海雙旭ZJ-14 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
產品概述
ZJ-14為高真空測量用冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)），基于潘寧放電原理工作，無熱燈絲，適用于高真空及超高真空環(huán)境測量。結構緊湊、抗污染能力強，可在有少量殘余氣體或輕度放氣條件下穩(wěn)定工作，廣泛用于真空爐、鍍膜設備、半導體制造及科研真空系統(tǒng)。
產品參數
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁷ Pa（部分工況可擴展至1×10⁻⁸ Pa）
- 工作電壓：DC 2.5 kV ～ 4.0 kV（典型值3.5 kV）
- 啟動壓強：≤ 1×10⁻¹ Pa（低于此值需預抽或輔助啟動）
- 電極材料：陽極不銹鋼，陰極鎢/鈦合金
- 工作溫度：-20℃ ～ +80℃（外殼允許范圍）
- 烘烤溫度：≤ 150℃（短時）/ ≤ 120℃（連續(xù)）
- 耐壓強度：≥ 8 kV（直流）
- 接口類型：DN16 CF / KF16（可選法蘭安裝）
- 尺寸（不含法蘭）：長度≤ 120 mm，直徑≤ 25 mm
- 重量：≤ 100 g
- 壽命：≥ 5000 h（在潔凈真空環(huán)境下）
工作原理
ZJ-14利用潘寧放電效應，在陰極與陽極間施加高壓形成磁場輔助電子振蕩，使電子與氣體分子碰撞產生電離，離子流與壓強成一定函數關系，經校準后輸出對應真空度信號。冷陰極結構避免熱燈絲燒毀，可在較高壓強啟動并在低真空段快速響應。
使用注意事項
- 啟動前確保系統(tǒng)真空度≤ 1×10⁻¹ Pa，否則放電不穩(wěn)定或無法起輝；若壓強過高需先用前級泵或粗抽降低。
- 嚴禁在大氣或高壓強下長時間通電，防止電極燒蝕或絕緣擊穿。
- 規(guī)管必須可靠接地，避免高壓泄漏造成設備損壞或人身危險。
- 避免油蒸氣、粉塵、金屬蒸汽等污染物進入規(guī)管，污染會顯著降低靈敏度和壽命。
- 不可在含氧量高的環(huán)境中工作，氧會與陰極材料反應導致性能衰減。
- 規(guī)管烘烤時嚴格控制在額定溫度內，超溫會損壞內部絕緣和電極。
- 更換或維護時須斷電并確認放電完全停止，防止高壓殘余觸電。
- 安裝時保持規(guī)管軸向與氣流方向一致，避免遮擋影響測量精度。
- 定期校準，建議每6～12個月或在更換工況環(huán)境后重新標定。
- 運輸及儲存應避免劇烈震動與潮濕環(huán)境，以防結構位移或絕緣下降。
適用范圍
適用于高真空/超高真空系統(tǒng)的在線監(jiān)測，尤其適合需要頻繁啟停、存在輕度放氣或要求長壽命免維護的工業(yè)與科研場合，如磁控濺射、電子束蒸發(fā)、離子注入、真空釬焊、高能物理實驗裝置。 |
