ZJ-27 高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)介紹
產(chǎn)品概述:ZJ-27 高真空規(guī)管采用電離式測(cè)量原理,玻璃外殼結(jié)構(gòu),適用于高真空環(huán)境下的壓強(qiáng)檢測(cè)。廣泛用于真空爐、電子束蒸發(fā)、離子鍍膜、半導(dǎo)體制造等對(duì)真空度要求高的工藝設(shè)備。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號(hào):ZJ-27
- 測(cè)量原理:熱陰極電離真空計(jì)
- 測(cè)量范圍:1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa(高真空段)
- 工作電壓:燈絲加熱電壓 4.5V~6V AC/DC;收集極電壓 -150V~-300V;柵極電壓 +150V~+300V(依控制器而定)
- 燈絲材料:鎢絲或銥絲(耐氧化,適合高真空)
- 外殼材質(zhì):高硼硅玻璃,耐壓≥0.3MPa,耐溫≤450℃
- 接口形式:玻璃法蘭或KF系列金屬轉(zhuǎn)接法蘭(可選)
- 啟動(dòng)壓強(qiáng):≤1Pa(低于此值方可正常測(cè)量)
- 預(yù)熱時(shí)間:≤3分鐘(穩(wěn)定讀數(shù))
- 使用壽命:連續(xù)工作≥2000小時(shí)(視工況與維護(hù)而定)
- 重量:約80g(不含轉(zhuǎn)接件)
使用注意事項(xiàng)
- 必須在系統(tǒng)壓強(qiáng)低于1Pa時(shí)才能開啟電離規(guī)功能,否則會(huì)燒毀燈絲。
- 安裝時(shí)避免機(jī)械沖擊和驟冷驟熱,防止玻璃殼體破裂。
- 不可在含氧量高于10⁻² Pa的環(huán)境中長(zhǎng)期工作,避免燈絲氧化熔斷。
- 更換或拆卸前須切斷規(guī)管供電并確認(rèn)系統(tǒng)已破空至大氣壓,防止殘余高壓損壞設(shè)備或人身傷害。
- 玻璃規(guī)管應(yīng)垂直或按指定方向安裝,保證內(nèi)部結(jié)構(gòu)不受應(yīng)力影響測(cè)量精度。
- 定期清潔規(guī)管玻璃殼表面污染物,保持透光性與絕緣性,避免誤讀。
- 禁止用尖銳物體觸碰燈絲及柵極,防止變形或斷裂導(dǎo)致失效。
- 長(zhǎng)期停用需存放于干燥環(huán)境,避免受潮引起漏電或腐蝕。
- 與控制器匹配時(shí)注意電壓與極性,錯(cuò)誤接線會(huì)瞬間損壞規(guī)管。
特點(diǎn)與應(yīng)用
ZJ-27 玻璃電離規(guī)管結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高,適合實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)高真空監(jiān)測(cè)。玻璃外殼可直接觀察內(nèi)部狀態(tài),便于故障判斷。可與多種真空計(jì)控制器配套實(shí)現(xiàn)自動(dòng)量程切換與數(shù)據(jù)輸出,滿足精密真空過(guò)程控制需求。 |