ZDK-III-LED 高真空電離真空計(jì)
上海雙旭ZDK-III-LED 高真空電離真空計(jì)
產(chǎn)品參數(shù)
測(cè)量范圍：1×10-1 Pa ~ 1×10-8 Pa（可選擴(kuò)展至1×10-9 Pa）
顯示方式：LED數(shù)碼管直讀，支持Pa、Torr、mbar單位切換
工作電源：AC 220V±10% / 50Hz，功耗≤15W
離子流測(cè)量精度：±15%（滿(mǎn)量程內(nèi)）
零點(diǎn)漂移：≤±5% / 4h（恒溫環(huán)境）
重復(fù)性誤差：≤±10%
預(yù)熱時(shí)間：≤30min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
響應(yīng)時(shí)間：≤3s（階躍壓力變化下）
工作溫度：5℃~40℃，相對(duì)濕度≤80%（無(wú)凝露）
外形尺寸：240mm×160mm×90mm（寬×高×深）
重量：約2.5kg
接口類(lèi)型：標(biāo)準(zhǔn)CF16/25法蘭真空接口，兼容主流真空系統(tǒng)
發(fā)射電流：可選0.1mA、1mA、10mA三檔，適配不同壓力段
防護(hù)等級(jí)：IP20（室內(nèi)干燥環(huán)境使用）
產(chǎn)品介紹
ZDK-III-LED為高真空電離真空計(jì)，基于熱陰極電離規(guī)原理，通過(guò)測(cè)量氣體分子被電子碰撞產(chǎn)生的離子流反推真空度。適用于高真空及超高真空環(huán)境的壓力監(jiān)測(cè)，廣泛用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)臺(tái)、加速器真空系統(tǒng)等場(chǎng)景。
采用LED數(shù)碼顯示，讀數(shù)直觀無(wú)需外接指示設(shè)備；內(nèi)置發(fā)射電流自動(dòng)/手動(dòng)切換功能，覆蓋從粗高真空到超高真空的壓力區(qū)間。電路集成過(guò)壓、過(guò)流保護(hù)，提高長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性。結(jié)構(gòu)緊湊，法蘭安裝便捷，可嵌入真空腔體或置于控制柜面板。
核心電離規(guī)管為耐高溫氧化鈹或鎢絲陰極，壽命長(zhǎng)且抗污染能力較優(yōu)，可在一定工藝氣體環(huán)境下短時(shí)工作，但需遵循材料兼容性要求。
使用注意事項(xiàng)
必須在真空度低于1×10-1 Pa時(shí)開(kāi)啟電離規(guī)，否則熾熱陰極易燒毀；斷電前應(yīng)先關(guān)閉發(fā)射電流并確認(rèn)真空度回到粗真空范圍。
禁止在大氣或高壓強(qiáng)下長(zhǎng)時(shí)間通電，啟動(dòng)與關(guān)閉需在真空系統(tǒng)抽氣過(guò)程中完成，建議配套前級(jí)粗真空計(jì)監(jiān)控。
電離規(guī)管對(duì)油蒸氣、粉塵敏感，真空系統(tǒng)內(nèi)存在擴(kuò)散泵油返流或機(jī)械泵油煙時(shí)應(yīng)加裝冷阱或過(guò)濾器，避免污染陰極與柵極。
更換規(guī)管或長(zhǎng)時(shí)間停用后重啟，應(yīng)充分烘烤除氣，確保管內(nèi)無(wú)殘留氣體影響測(cè)量精度。
高電壓部件有觸電風(fēng)險(xiǎn)，維護(hù)時(shí)必須斷電并等待放電完畢再操作，嚴(yán)禁帶電插拔規(guī)管接頭。
發(fā)射電流檔位須與當(dāng)前壓力匹配：高壓強(qiáng)段用大電流提升信噪比，低壓強(qiáng)段用小電流降低離子流噪聲，誤用會(huì)導(dǎo)致測(cè)量偏差或規(guī)管損壞。
避免強(qiáng)烈振動(dòng)與沖擊，防止規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移或引線(xiàn)斷裂；搬運(yùn)時(shí)需固定主體并保護(hù)法蘭面不受損。
LED顯示異�；蜃x數(shù)跳動(dòng)劇烈時(shí)，先檢查真空度是否進(jìn)入測(cè)量范圍、發(fā)射電流設(shè)置是否正確，再排查規(guī)管污染或電路故障。 |
