上海雙旭ZDM-II 電容薄膜真空計(jì)產(chǎn)品介紹
一、核心產(chǎn)品參數(shù)
ZDM-II電容薄膜真空計(jì)是一款高精度的真空測(cè)量設(shè)備，核心參數(shù)如下：
- 測(cè)量范圍：支持寬量程真空測(cè)量，覆蓋1×10⁻⁵Pa至10⁵Pa，可滿足從高真空到大氣壓的全范圍測(cè)量需求；
- 測(cè)量精度：在1×10⁻³Pa至10⁵Pa區(qū)間內(nèi)，精度優(yōu)于±1%FS（滿量程），高真空區(qū)間精度可達(dá)±5%，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性；
- 傳感器類型：采用進(jìn)口電容薄膜傳感器，具備良好的穩(wěn)定性和抗腐蝕性，適配復(fù)雜真空環(huán)境；
- 輸出信號(hào)：標(biāo)配4-20mA模擬信號(hào)輸出，可選RS485數(shù)字通訊接口，方便與PLC、DCS等控制系統(tǒng)對(duì)接；
- 顯示方式：配備LED數(shù)碼管顯示，實(shí)時(shí)顯示真空度數(shù)值，支持單位自動(dòng)切換（Pa、mbar、Torr可選）；
- 工作環(huán)境：環(huán)境溫度范圍-10℃~50℃，相對(duì)濕度≤85%（無(wú)冷凝），可適應(yīng)大多數(shù)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境；
- 供電電源：220V AC（±10%）或24V DC可選，滿足不同場(chǎng)景供電需求；
- 連接接口：采用KF16或CF35真空快裝接口，安裝便捷，密封性能可靠。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
ZDM-II電容薄膜真空計(jì)依托電容薄膜傳感技術(shù)，兼具高精度與實(shí)用性：
其一，傳感器采用全金屬密封結(jié)構(gòu)，無(wú)油污染，適合對(duì)清潔度要求高的真空環(huán)境，如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等領(lǐng)域；其二，具備零點(diǎn)自動(dòng)校準(zhǔn)和滿量程校準(zhǔn)功能，用戶可通過(guò)按鍵輕松完成校準(zhǔn)，長(zhǎng)期使用仍能保持測(cè)量精度；其三，抗干擾能力強(qiáng)，內(nèi)置電磁屏蔽設(shè)計(jì)，可在強(qiáng)電磁干擾的工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定工作；其四，體積小巧，安裝方式靈活，可采用支架安裝或法蘭直接安裝，適配不同真空系統(tǒng)布局。
三、使用注意事項(xiàng)
為確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量準(zhǔn)確性，使用過(guò)程中需注意以下事項(xiàng)：
1. 安裝環(huán)境：避免將設(shè)備安裝在溫度劇烈變化、振動(dòng)強(qiáng)烈或有腐蝕性氣體的環(huán)境中，若必須在特殊環(huán)境使用，需配備相應(yīng)的防護(hù)裝置；安裝時(shí)保證真空接口密封良好，可采用真空密封脂輔助密封，防止漏氣影響測(cè)量結(jié)果。
2. 操作規(guī)范：開(kāi)機(jī)前需確認(rèn)電源電壓與設(shè)備額定電壓一致，避免因電壓不符損壞設(shè)備；進(jìn)行真空系統(tǒng)抽氣時(shí)，需緩慢升高真空度，避免氣體壓力驟變沖擊傳感器薄膜，影響其使用壽命；禁止超量程使用，當(dāng)真空度超出測(cè)量范圍上限時(shí)，應(yīng)及時(shí)關(guān)閉真空計(jì)或采取防護(hù)措施。
3. 維護(hù)保養(yǎng)：定期檢查真空接口的密封情況，若發(fā)現(xiàn)密封件老化需及時(shí)更換；設(shè)備長(zhǎng)期停用前，需將真空系統(tǒng)恢復(fù)至大氣壓狀態(tài)，避免傳感器薄膜長(zhǎng)期處于高真空拉伸狀態(tài)；校準(zhǔn)周期建議為12個(gè)月，可聯(lián)系廠家或?qū)I(yè)計(jì)量機(jī)構(gòu)進(jìn)行專業(yè)校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度。
4. 故障處理：若出現(xiàn)顯示異常或無(wú)輸出信號(hào)，首先檢查電源連接和真空接口密封情況；如傳感器損壞，需由專業(yè)人員更換，禁止自行拆解傳感器，以免破壞其真空密封結(jié)構(gòu)。
四、適用領(lǐng)域
ZDM-II電容薄膜真空計(jì)廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體加工、真空熱處理、真空干燥、航空航天模擬等領(lǐng)域，特別適合需要高精度、高穩(wěn)定性真空測(cè)量的工業(yè)場(chǎng)景和科研實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
