ZDF-5310A 復(fù)合真空計
上海雙旭 ZDF-5310A 復(fù)合真空計
產(chǎn)品概述
ZDF-5310A 為上海雙旭電子有限公司推出的復(fù)合型真空測量儀器，集成熱偶真空計與電離真空計于一體，可覆蓋從大氣壓至超高真空范圍的連續(xù)測量。適用于科研實驗、真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空爐及各類工業(yè)真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測與控制。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：熱偶段 1×10⁵ ~ 1×10⁻¹ Pa；電離段 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁸ Pa（可擴展至 5×10⁻⁹ Pa）
- 顯示分辨率：熱偶段 0.1 Pa；電離段 0.01 Pa（低量程可達 0.001 Pa）
- 測量精度：±15%（全量程），恒溫條件下 ±10%
- 響應(yīng)時間：熱偶段 ≤3 s；電離段 ≤1 s（90% FS）
- 工作溫度：0~40℃（環(huán)境）；傳感器耐溫 ≤100℃（熱偶）、≤300℃（電離規(guī)管）
- 供電電源：AC 220V±10%，50/60Hz，功耗 ≤30W
- 顯示方式：4½位 LED 數(shù)碼管或 LCD 背光顯示（可選）
- 輸出接口：RS-485/RS-232（可選），模擬輸出 0~5V / 4~20mA
- 控制功能：支持上下限報警，繼電器觸點輸出（2組）
- 規(guī)管類型：標(biāo)配 ZJ-53B 熱偶規(guī) + ZJ-27 電離規(guī)（可選其他兼容型號）
- 外形尺寸：240mm(W)×120mm(H)×280mm(D)
- 重量：約 3.5kg
功能特點
復(fù)合式設(shè)計，自動切換熱偶與電離測量模式，避免人工換規(guī)；內(nèi)置微處理控制，數(shù)字濾波提升抗干擾能力；具備零點校準(zhǔn)與滿度修正功能；支持多通道擴展（選配）；外殼采用金屬防護，適用于工業(yè)現(xiàn)場電磁干擾環(huán)境。
使用注意事項
- 安裝前確認(rèn)真空系統(tǒng)清潔，避免油蒸氣、粉塵進入規(guī)管，防止污染導(dǎo)致讀數(shù)漂移或損壞。
- 通電前檢查電源電壓與頻率是否符合要求，接地必須可靠，防止高壓擊穿。
- 熱偶規(guī)不可用于高真空段測量，系統(tǒng)壓力低于 1×10⁻¹ Pa 時應(yīng)自動或手動切換至電離規(guī)，否則熱偶規(guī)可能過熱損壞。
- 電離規(guī)在高壓強（≥1×10⁻¹ Pa）下開啟燈絲會加速老化甚至燒毀，務(wù)必在確認(rèn)真空達標(biāo)后啟動電離規(guī)。
- 更換規(guī)管需斷電操作，并核對型號匹配，接線不得反接，規(guī)管烘烤時不得超過額定耐溫。
- 禁止在可燃?xì)怏w或腐蝕性氣體環(huán)境中使用，電離規(guī)燈絲材料對 O₂ 敏感，遇氧會快速氧化失效。
- 長期停用應(yīng)關(guān)閉電源，拔掉規(guī)管接頭，防止潮氣侵入造成絕緣下降或短路。
- 定期執(zhí)行零點和滿度校準(zhǔn)，建議每 6~12 個月進行一次計量檢定確保精度。
- 模擬輸出信號線應(yīng)使用屏蔽電纜并單端接地，遠離動力線布置，避免噪聲耦合影響數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
- 報警設(shè)定值應(yīng)在設(shè)備安全范圍內(nèi)，避免因頻繁動作縮短繼電器壽命。
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