DH450系列 真空鍍膜機(jī)型號(hào)【上海雙旭】
上海雙旭DH450系列真空鍍膜機(jī)
產(chǎn)品概述
DH450系列是上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的一款高真空多功能鍍膜設(shè)備，適用于實(shí)驗(yàn)室、科研及小批量生產(chǎn)。該設(shè)備通常用于薄膜制備、材料表面改性等領(lǐng)域的教學(xué)與科研實(shí)驗(yàn)。
主要技術(shù)參數(shù)
- 真空室尺寸：通常為Φ450mm左右（具體以實(shí)際型號(hào)為準(zhǔn)）
- 極限真空度：≤6.67×10-4 Pa（機(jī)械泵+分子泵系統(tǒng)）
- 抽氣系統(tǒng)：旋片式機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵或分子泵組
- 鍍膜方式：支持電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射等多種鍍膜功能（配置決定）
- 電源配置：蒸發(fā)電源、濺射電源等（根據(jù)配置不同）
- 控制方式：手動(dòng)控制或PLC自動(dòng)控制
- 配套裝置：可配備膜厚監(jiān)測(cè)儀、基片加熱、離子轟擊等附件
使用注意事項(xiàng)
- 安全操作：設(shè)備必須可靠接地，操作人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉真空系統(tǒng)操作規(guī)程。
- 真空維護(hù)：保持真空室清潔，防止異物進(jìn)入；定期更換泵油，檢查密封圈狀態(tài)。
- 電源管理：開啟加熱、濺射等大電流電源前，需確認(rèn)水路暢通，防止過熱損壞。
- 充氣過程：破空時(shí)需緩慢向真空室充入干燥氮?dú)饣驓鍤�，避免氣流沖擊樣品或傳感器。
- 樣品處理：鍍膜前基片需清潔干燥，避免污染物進(jìn)入真空室影響膜層質(zhì)量與真空度。
- 設(shè)備保養(yǎng)：定期對(duì)運(yùn)動(dòng)部件（如擋板、基片架旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)）進(jìn)行潤(rùn)滑維護(hù)。
- 應(yīng)急處理：如遇真空泄漏、異常放電或壓力驟升，應(yīng)立即斷電并關(guān)閉相關(guān)閥門，按應(yīng)急預(yù)案處理。
備注
以上信息為DH450系列通用介紹，具體參數(shù)與功能可能因配置不同而有差異。使用前請(qǐng)務(wù)必查閱設(shè)備隨附的官方說明書，并嚴(yán)格遵循制造商的操作規(guī)范。 |
