WPC400 集成數(shù)顯皮拉尼冷陰極真空計(電阻電離復合變送規(guī))
上海雙旭 WPC400 集成數(shù)顯皮拉尼冷陰極真空計(電阻電離復合變送規(guī))
產(chǎn)品概述
WPC400 是一款集成了皮拉尼(電阻)規(guī)與冷陰極電離規(guī)的復合型真空測量變送器。它將寬量程的皮拉尼傳感器與極高真空測量的冷陰極傳感器相結合,通過智能控制系統(tǒng)自動切換,實現(xiàn)從大氣壓到高真空(10^5 Pa 至 10^-6 Pa)范圍的無縫、連續(xù)、精確測量。設備集成數(shù)字顯示與變送輸出功能,適用于需要寬量程監(jiān)控的真空工藝設備。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號:WPC400
- 測量原理:皮拉尼熱傳導(低真空) + 冷陰極磁放電電離(高真空)
- 測量范圍:
- 皮拉尼規(guī)(PR):1.0×10^5 Pa ~ 1.0×10^-1 Pa (760 Torr ~ 1×10^-3 Torr)
- 冷陰極規(guī)(CC):1.0×10^-1 Pa ~ 1.0×10^-6 Pa (1×10^-3 Torr ~ 1×10^-8 Torr)
- 顯示:高亮度LED或LCD數(shù)顯,同時顯示壓力值及單位(Pa、Torr、mbar可選)。
- 控制輸出:
- 模擬輸出:通常為0-10V DC或4-20mA隔離信號,對應全量程或可編程量程。
- 繼電器控制輸出:通常配備2-4路可編程繼電器觸點,用于設定點控制(如泵閥啟停、報警)。
- 傳感器電源與信號:一體化設計,規(guī)管與變送器之間通過專用電纜連接。
- 供電電源:AC 220V ±10%, 50/60Hz 或 DC 24V(依型號而定)。
- 規(guī)管連接:標準CF法蘭、KF法蘭或螺紋接口(如M10×1.0)。
- 工作環(huán)境:溫度0~50℃,濕度≤80% RH(無凝露)。
- 外殼防護:通常為塑料或金屬殼體,適用于面板安裝。
使用注意事項
- 規(guī)管安裝:
- 必須垂直安裝(通常規(guī)管口朝下),以避免灰塵或顆粒物落入規(guī)管內(nèi)部影響測量精度或?qū)е聯(lián)p壞。
- 安裝位置應盡量靠近被測真空腔體,連接管路應短而粗,以保證測量的準確性和響應速度。
- 避免安裝在強磁場、強振動、溫度劇烈波動或存在腐蝕性氣體的環(huán)境中。
- 開機與測量:
- 系統(tǒng)抽真空前,確保規(guī)管已正確安裝并通電。禁止在大氣壓力下長時間給冷陰極規(guī)施加高壓,以免損壞。
- 設備通常具備自動切換功能。當壓力高于切換閾值(如1.0×10^-1 Pa)時,使用皮拉尼規(guī);低于該閾值時,自動啟用冷陰極規(guī)。
- 冷陰極規(guī)需要一定的啟動時間,在極高真空下讀數(shù)穩(wěn)定可能需要數(shù)分鐘。
- 氣體類型與校準:
- 皮拉尼規(guī)的讀數(shù)與氣體種類和熱傳導率有關,出廠通常按氮氣(或空氣)校準。測量不同氣體時需根據(jù)修正系數(shù)進行換算。
- 冷陰極規(guī)的讀數(shù)在惰性氣體和氫氣中可能略有偏差,但在多數(shù)工藝氣體中相對穩(wěn)定。
- 對于腐蝕性、易聚合、高濃度可凝性蒸汽(如油蒸氣),應在規(guī)管前加裝冷阱或擋板,防止污染規(guī)管導致性能下降或永久損壞。
- 維護與清潔:
- 規(guī)管為精密部件,禁止拆卸或撞擊。
- 如規(guī)管被污染(如油蒸氣附著),可能導致測量不準或無法啟動。嚴重時需由專業(yè)人員進行清洗或更換。
- 定期檢查電纜連接是否牢固,避免信號干擾。
- 安全警告:
- 冷陰極規(guī)在工作時內(nèi)部存在高壓(通常數(shù)千伏),嚴禁在通電狀態(tài)下觸摸規(guī)管電極部分或斷開連接電纜。
- 設備接地必須良好,以防電擊干擾。
- 繼電器輸出負載應在額定范圍內(nèi),避免過載。
典型應用
廣泛應用于真空鍍膜、半導體工藝、真空冶金、加速器、真空冷凍干燥、航天模擬、科研實驗等需要對寬范圍真空進行連續(xù)監(jiān)測和控制的領域。 |