M014 冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭M014冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭M014冷陰極電離規(guī)是一款專為高真空、超高真空環(huán)境設(shè)計(jì)的真空測(cè)量器件，利用冷陰極放電原理實(shí)現(xiàn)真空度的精準(zhǔn)檢測(cè)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、空間模擬等工業(yè)科研領(lǐng)域，具備測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性強(qiáng)、使用壽命長等特點(diǎn)。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 |
1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa |
| 規(guī)管結(jié)構(gòu) |
冷陰極磁控放電結(jié)構(gòu)，包含陰極、陽極、磁場(chǎng)組件 |
| 工作電壓 |
直流高壓1800V~2200V（可適配配套電源調(diào)節(jié)） |
| 工作磁場(chǎng) |
內(nèi)置永久磁鐵，磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.15T |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
≤3s（真空度突變時(shí)的90%響應(yīng)時(shí)間） |
| 規(guī)管材質(zhì) |
不銹鋼外殼，電極采用耐高溫金屬材料 |
| 連接方式 |
KF25快速法蘭（可定制其他法蘭接口） |
| 工作溫度 |
-10℃ ~ 150℃（長期工作），最高耐溫200℃（短期） |
| 絕緣電阻 |
≥1000MΩ（室溫，規(guī)管電極與外殼間） |
| 使用壽命 |
正常工作條件下≥5000小時(shí) |
使用注意事項(xiàng)
安裝前準(zhǔn)備：安裝前需確保規(guī)管及真空系統(tǒng)內(nèi)部清潔，無油污、灰塵等雜質(zhì)，避免污染規(guī)管電極影響測(cè)量精度；安裝時(shí)需對(duì)法蘭接口進(jìn)行真空密封處理，可采用氟橡膠密封圈，確保連接部位無泄漏。
工作環(huán)境要求：規(guī)管需在無腐蝕性氣體（如氯氣、硫化氫）、無大量有機(jī)蒸氣的環(huán)境中工作，若被測(cè)氣體存在腐蝕性，需提前加裝氣體過濾裝置，防止電極被腐蝕損壞；避免規(guī)管長期暴露在大氣環(huán)境中，防止氧化。
電源匹配：必須使用配套的冷陰極規(guī)管電源供電，禁止私自調(diào)整電源電壓，防止高壓過載損壞規(guī)管；啟動(dòng)電源時(shí)，需先確認(rèn)真空系統(tǒng)壓力降至1×10⁻¹ Pa以下，再開啟規(guī)管高壓，避免低真空下強(qiáng)放電燒毀電極。
日常維護(hù)：定期檢查規(guī)管的絕緣性能，若發(fā)現(xiàn)絕緣電阻下降，需對(duì)規(guī)管進(jìn)行烘烤除氣處理（烘烤溫度≤150℃，時(shí)間2~4小時(shí)）；測(cè)量高活性氣體后，需及時(shí)用干燥氮?dú)鉀_洗規(guī)管內(nèi)部，防止殘留氣體吸附影響后續(xù)測(cè)量。
故障排查：若規(guī)管出現(xiàn)無信號(hào)、測(cè)量值異常波動(dòng)等情況，需先排查電源是否正常、真空系統(tǒng)是否泄漏，再檢查規(guī)管電極是否損壞；禁止在未斷電、未卸真空的情況下拆卸規(guī)管，避免高壓電擊及系統(tǒng)污染。
存儲(chǔ)要求：閑置規(guī)管需存放在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，溫度控制在0℃~30℃，相對(duì)濕度≤60%，并定期進(jìn)行絕緣性能檢測(cè)，防止內(nèi)部受潮。
應(yīng)用場(chǎng)景
該規(guī)管適用于高真空、超高真空工藝的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，常見應(yīng)用場(chǎng)景包括：真空鍍膜設(shè)備的腔體真空度監(jiān)控、半導(dǎo)體晶圓制造的真空環(huán)境檢測(cè)、真空退火爐的真空度控制、空間模擬艙的真空環(huán)境模擬、電子顯微鏡等科研儀器的真空配套測(cè)量。 |
