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6JA 干涉顯微鏡

上海雙旭6JA 干涉顯微鏡

產(chǎn)品概述：上海雙旭6JA為高精度干涉顯微鏡，基于多光束或雙光束干涉原理，用于表面微觀形貌、平面度及微小臺階高度的非接觸測量，廣泛用于精密機械加工、光學(xué)元件檢測、半導(dǎo)體晶圓、模具及科研領(lǐng)域。

產(chǎn)品參數(shù)

• 型號：6JA
• 制造商：上海雙旭電子有限公司
• 光學(xué)系統(tǒng)：無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，配備高穩(wěn)定性干涉物鏡
• 光源：單色LED（λ=632.8nm氦氖激光等效波長可選），光強可調(diào)
• 干涉模式：雙光束斐索干涉、多光束法布里-珀羅干涉可切換
• 放大倍率：目視10×、20×、40×、100×（目鏡10×/測微目鏡25×）
• 視場直徑：Φ20mm（10×）、Φ10mm（20×）、Φ5mm（40×）、Φ2mm（100×）
• 工作距離：≥0.5mm（依物鏡不同）
• 垂直分辨率：≤0.1nm（理論值，受環(huán)境振動與空氣擾動影響）
• 橫向分辨率：≤0.5μm（依物鏡NA與照明波長）
• 測量范圍：臺階高度±10μm（標(biāo)準(zhǔn)配置），擴(kuò)展可達(dá)±50μm
• 平臺行程：X/Y軸手動粗調(diào)+微調(diào)，行程≥50mm×50mm；Z軸微調(diào)范圍≥5mm
• 讀數(shù)方式：數(shù)字千分尺或光柵尺配合軟件顯示，最小讀數(shù)0.01μm
• 圖像采集：內(nèi)置CCD攝像頭（可選配200萬~500萬像素），USB傳輸
• 軟件功能：干涉條紋分析、三維形貌重建、輪廓曲線擬合、數(shù)據(jù)導(dǎo)出（Excel/TXT）
• 尺寸：約400mm×350mm×600mm（主機）
• 重量：約35kg
• 電源：AC220V±10%，50Hz，功率≤150W

使用注意事項

• 放置環(huán)境需溫度穩(wěn)定（推薦20±1℃）、濕度≤60%RH，避免陽光直射與空調(diào)直吹，防止熱膨脹導(dǎo)致干涉條紋漂移。
• 必須安裝在隔振平臺上，遠(yuǎn)離機床、空壓機、交通振動源，地面振動加速度建議≤5μm/s²。
• 光學(xué)元件表面嚴(yán)禁用手觸摸，清潔須用專用鏡頭紙或無水乙醇輕拭，避免劃傷鍍膜層。
• 使用前檢查光源穩(wěn)定性與干涉條紋清晰度，若條紋扭曲或不規(guī)則，應(yīng)排查樣品表面污染、傾斜或光學(xué)系統(tǒng)失調(diào)。
• 樣品表面要求平整潔凈，避免油污、灰塵及氧化層，否則會引入局部相位誤差影響測量精度。
• 調(diào)節(jié)參考鏡與樣品間距至干涉條紋出現(xiàn)且對比度最佳，過程中避免快速移動造成空氣擾動。
• 更換物鏡或倍率時，應(yīng)重新進(jìn)行光路校準(zhǔn)與零點復(fù)位，確保測量基準(zhǔn)一致。
• 軟件采集圖像時關(guān)閉室內(nèi)強光源與頻繁開關(guān)燈具，防止CCD感光異常。
• 長期停用需覆蓋防塵罩，定期通電預(yù)熱并檢查光學(xué)部件位置，防止機械位移。
• 禁止對超出量程的臺階或深槽強行測量，以免損壞物鏡或壓壞樣品。

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