上海雙旭ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）

ZJ-12超高真空熱陰極電離規(guī)是上海雙旭研發(fā)生產(chǎn)的專業(yè)真空測量器件，采用熱陰極電離原理，可精準(zhǔn)測量超高真空區(qū)域的壓強(qiáng)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空冶煉、空間模擬等科研與工業(yè)領(lǐng)域，為超高真空環(huán)境的監(jiān)測與控制提供可靠數(shù)據(jù)支持。

核心產(chǎn)品參數(shù)

• 測量范圍：1×10⁻¹⁰ Pa ~ 1×10⁻¹ Pa
• 規(guī)管類型：熱陰極電離規(guī)（屬于Bayard-Alpert型規(guī)管結(jié)構(gòu)）
• 陰極材料：氧化釷鎢絲或純鎢絲，具備優(yōu)異的耐高溫和抗中毒性能
• 陽極電壓：200V（典型值）
• 收集極電壓：-25V（典型值）
• 發(fā)射電流：1mA（常規(guī)工作值，可根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整）
• 最高烘烤溫度：300℃（陰極烘烤溫度≤200℃），支持真空系統(tǒng)高溫烘烤除氣
• 規(guī)管接口：通常采用KF25快裝法蘭，可根據(jù)需求定制其他接口類型
• 工作環(huán)境溫度：-10℃ ~ +50℃
• 規(guī)管壽命：在正常超高真空環(huán)境下，陰極壽命可達(dá)1000小時(shí)以上（具體壽命與使用環(huán)境清潔度相關(guān)）

關(guān)鍵使用注意事項(xiàng)

1. 真空環(huán)境要求：必須在壓強(qiáng)低于1×10⁻¹ Pa的真空環(huán)境下開啟發(fā)射電流，嚴(yán)禁在大氣或低真空狀態(tài)下激活陰極，否則陰極會因快速氧化而燒毀。
2. 烘烤操作規(guī)范：對真空系統(tǒng)進(jìn)行烘烤時(shí)，需先降低發(fā)射電流或關(guān)閉發(fā)射，避免陰極在高溫高氣壓環(huán)境下受損；烘烤溫度不得超過規(guī)管標(biāo)注的最高限值，且需保證規(guī)管各部件受熱均勻。
3. 避免污染中毒：嚴(yán)禁在存在大量有機(jī)蒸氣、腐蝕性氣體或顆粒物的環(huán)境中使用，此類物質(zhì)會導(dǎo)致陰極中毒、收集極污染，大幅降低測量精度和規(guī)管壽命。若規(guī)管被污染，可通過長時(shí)間高溫烘烤（需控制陰極溫度）嘗試恢復(fù)性能。
4. 電氣連接規(guī)范：接線時(shí)需嚴(yán)格按照說明書對應(yīng)陽極、收集極、陰極的引腳定義，避免接錯(cuò)電壓導(dǎo)致元件燒毀；規(guī)管電纜應(yīng)避免與強(qiáng)干擾電源線并行布置，防止電磁干擾影響測量精度。
5. 啟動與關(guān)機(jī)流程：開機(jī)時(shí)需先確認(rèn)系統(tǒng)真空度達(dá)標(biāo)，再逐步開啟發(fā)射電流；關(guān)機(jī)時(shí)需先關(guān)閉發(fā)射電流，待陰極冷卻后再關(guān)閉真空系統(tǒng)，防止陰極在高溫下接觸殘留氣體氧化。
6. 校準(zhǔn)要求：新規(guī)管安裝或系統(tǒng)維護(hù)后，建議通過標(biāo)準(zhǔn)真空校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性；長期使用后，若發(fā)現(xiàn)測量偏差過大，需重新校準(zhǔn)。
7. 閑置存儲：閑置時(shí)需將規(guī)管接口密封，放置在干燥、無腐蝕氣體的環(huán)境中，避免灰塵和濕氣進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部。

ZJ-12規(guī)管憑借穩(wěn)定的測量性能、寬量程覆蓋和良好的耐高溫烘烤能力，成為超高真空領(lǐng)域可靠的測量工具，使用過程中嚴(yán)格遵循操作規(guī)范，可有效延長規(guī)管壽命，保障測量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性。