ZJ-10B 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-10B 真空規(guī)管（電離規(guī)管）介紹
產品概述：ZJ-10B 為熱陰極電離規(guī)管，適用于中高真空測量，基于電子碰撞氣體分子產生離子電流與壓強成正比的原理工作。廣泛用于真空爐、鍍膜機、半導體工藝設備及科研真空系統(tǒng)。
產品參數
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁵ Pa（推薦工作區(qū)間 1×10⁻¹ ～ 5×10⁻⁴ Pa）
- 工作電壓：燈絲加熱電壓 4.5V AC/DC；收集極電壓 -150V DC；柵極電壓 +150V DC（典型值）
- 發(fā)射電流：0.5mA～5mA 可調，常用 1mA
- 靈敏度系數：約 0.15 Pa⁻¹（N₂ 校準）
- 預熱時間：≤3 min（達到穩(wěn)定讀數）
- 最高烘烤溫度：≤450℃（規(guī)管整體可短時耐溫，玻璃殼部分注意溫差沖擊）
- 接口形式：DN16 CF / KF16（法蘭可選）
- 外形尺寸：長度 ≤120 mm，最大直徑 ≤28 mm（不含法蘭）
- 材質：不銹鋼殼體，陶瓷絕緣，鎢絲陰極，鎳柵極，鉬收集極
- 壽命：≥5000 h（在推薦工況下連續(xù)使用）
使用注意事項
- 禁止在高壓、強電磁干擾或強振動環(huán)境下安裝與使用，避免信號漂移或損壞電子元件。
- 規(guī)管必須在真空度低于 1×10⁻¹ Pa 時啟動電離規(guī)功能，否則陰極易燒毀；從大氣壓直接通電會永久損壞規(guī)管。
- 首次啟用或更換規(guī)管前確認真空系統(tǒng)已抽至粗真空（≤10 Pa），再緩慢升壓至電離規(guī)工作范圍。
- 燈絲為鎢絲，對氧敏感，系統(tǒng)含氧量高或反復暴露大氣會加速老化，需保證系統(tǒng)密封性與除氣充分。
- 烘烤系統(tǒng)時，規(guī)管必須能承受對應溫度，玻璃殼部分與金屬法蘭熱膨脹差異大，升溫速率應 ≤5℃/min，防止炸裂。
- 避免機械碰撞和劇烈震動，規(guī)管內部結構精密，沖擊會導致電極位移或斷裂。
- 規(guī)管信號線需屏蔽并遠離動力電纜，防止共模干擾影響測量精度。
- 長期停用時應保持規(guī)管處于干燥氮氣或真空保護狀態(tài)，防止受潮腐蝕。
- 更換規(guī)管時注意靜電防護，避免人體靜電擊穿柵極絕緣層。
- 校準周期建議每 12 個月一次，或當測量偏差超過 ±20% 時進行重新標定。
特點與應用
ZJ-10B 采用成熟熱陰極電離原理，結構緊湊、響應快、穩(wěn)定性好，適合連續(xù)在線監(jiān)測。對 N₂、Ar、O₂、H₂ 等常用工藝氣體有良好線性響應，可與多種真空計控制器匹配。主要用于真空獲得設備的過程控制、極限真空檢測及泄漏監(jiān)控。 |
